Hé! Az FZ Szilícium -rúd beszállítója vagyok, és már régóta foglalkozom ebben a vállalkozásban. Az egyik legfontosabb tényező, amely elősegítheti vagy megszakíthatja az FZ szilícium -robotok növekedését, a vetőmagkristály minősége. Ebben a blogban mélyen belemerülni fogok arra, hogy a vetőmag kristályminőség hogyan befolyásolja az FZ szilícium -inget növekedését.
Először beszéljünk arról, hogy mi a vetőmagkristály. A vetőmagkristály egy kis darab egyszemélyes kristály anyag, amely kiindulási pontként szolgál egy nagyobb egy -kristálygörcs növekedéséhez. Az FZ (úszó zóna) szilícium -inget növekedése esetén a vetőmagkristályt használják a kristályosodási folyamat kezdeményezésére.
A vetőmagkristály minősége közvetlen hatással van a növekvő rúd tájolására. A magas minőségű vetőmagkristálynak jól definiált kristályorientációja van. Ez rendkívül fontos, mert a vetőmagkristály orientációja meghatározza a teljes rúd tájolását. Ha a vetőmagkristály pontos orientációja van, akkor az FZ szilícium -rúd következetesen és kiszámítható módon növekszik. Például, ha egy <100> orientált FZ szilícium -rostot akarunk, akkor elengedhetetlen a magas minőségű <100> orientált vetőmag kristály. Ha a tájolás ki van kapcsolva a vetőmagkristályban, akkor a rúd több tájolással növekedhet, vagy olyan hibákkal járhat, amelyek jelentősen csökkenthetik annak használhatóságát.
Egy másik szempont a vetőmagkristály tisztasága. A vetőmag kristály szennyeződései nukleációs helyekként működhetnek a nem kívánt kristálynövekedéshez, vagy beépíthetők a növekvő rúdba. Magas tisztaságú vetőmag -kristályokra van szükség ahhoz, hogy magas - tisztaságú FZ szilícium rúd előállítsa. Még a vetőmagkristályban lévő szennyeződések is a szennyeződések jelenlétéhez vezethetnek a végső zaklatásban. Ezek a szennyeződések befolyásolhatják a szilícium elektromos tulajdonságait, például ellenállását és a hordozó mobilitását. Például, ha vannak fémes szennyeződések a vetőmagkristályban, akkor további energiaszintet hozhatnak létre a szilícium sávjában, megváltoztatva annak elektromos viselkedését.
A vetőmagkristály szerkezeti integritása szintén nagyon fontos. A belső hibákkal rendelkező vetőmagkristály, például a diszlokációk vagy a mikro -repedések, ezeket a hibákat a növekvő rúdba terjesztheti. A diszlokációk akadályként szolgálhatnak az elektronok és lyukak mozgásában, csökkentve a rostból készült félvezető eszköz hatékonyságát. Mikro -repedések okozhatják, hogy a zavart megszakadjon a növekedési folyamat során, vagy később a feldolgozás során. A szerkezetileg hangos vetőmagkristály biztosítja, hogy a rúd növekedjen ezen nem kívánt hibák nélkül.
Nézzük meg, hogy a vetőmag kristály felületi minősége hogyan játszik szerepet. A magkristály felületének sima és szennyeződésektől mentesnek kell lennie. A durva felület egyenetlen növekedést okozhat a vetőmagkristály és az olvadt szilícium közötti felületen. A felszínen lévő szennyező anyagok reagálhatnak az olvadt szilikonnal, vagy nukleációs pontokként működhetnek a másodlagos kristálynövekedéshez. Ez a polikristályos régiók képződéséhez vezethet a rúdban, amelyek a legtöbb félvezető alkalmazásban nagyon nemkívánatosak.
Az FZ szilícium -rúd növekedési üteme szempontjából a vetőmagkristály minősége is befolyásolhatja. A magas minőségű vetőmagkristály stabilabb és szabályozhatóbb növekedési ütemet tesz lehetővé. Ha a vetőmagkristálynak jó hővezetőképessége és egységes szerkezete van, akkor a hőátadás a növekedési folyamat során következetesebb. Ez lehetővé teszi az egyenletesebb és kiszámíthatóbb növekedési rátát. Másrészt az alacsony minőségű vetőmagkristály ingadozást okozhat a növekedési ütemben, ami nem egységes méretű vagy belső feszültséggel rendelkező rúdot eredményezhet.
Az FZ szilícium -inget beszállítójának tapasztalataim szerint láttam a különbséget, amelyet egy magas színvonalú vetőmagkristály tehet. Amikor a Top - Notch Seed Crystals -t használjuk, kiváló minőségű, nagy tisztaságú és pontos orientációval rendelkező FZ -szilícium -rúd előállítása. Ezek a rúdok nagy igényt mutatnak a félvezető iparban, mivel felhasználhatók nagy teljesítményű elektronikus eszközök gyártására.
Az FZ szilícium rések széles skáláját kínáljuk, beleértve2 hüvelykes -8 hüvelykes FZ szilícium rés- Ezeket a rúdokat a legjobb minőségű vetőmagkristályok felhasználásával termesztik, hogy biztosítsák a legmagasabb minőségi előírást.
Ha az FZ szilícium -rúd piacán van, akkor tudja, hogy a vetőmagkristály minősége kulcsfontosságú tényező a végtermék minőségének meghatározásában. Elkötelezettek vagyunk a lehető legjobb FZ szilícium -rúd biztosításáért. Függetlenül attól, hogy szükség van rájuk kutatási célokra, félvezető gyártáshoz vagy más alkalmazásokhoz, fedeztük Önt.
Ha érdekli a termékeink, ne habozzon, és keresse meg a vásárlási tárgyalásokat. Mindig készen állunk arra, hogy beszéljünk az Ön konkrét követelményeiről, és megtaláljuk a legjobb megoldásokat az Ön számára.
Referenciák
- "Szilícium félvezető anyagok", SM SZE
- A "Crystal Growning kézikönyve" szerkesztette a DTJ Hurle